費德里柯·裴瑞拉（）生於聖胡安，裴瑞曾代表國家參加2012年倫敦奧運的費德男子排球比賽，是柯拉一名阿根廷排球運動員，
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" class="attachment-boke_2_list_thumb size-boke_2_list_thumb wp-post-image" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" loading="lazy" style="width:239px; height:155px;" />自清洁、智清洁、1赫兹……虽然各大品牌推出的主打概念五花八门，品牌营销也玩得丰富多彩，但产品质量好、服务靠谱专业，才最显空调“内功”。
各大空调品牌各亮王牌
记者随机来到一家苏宁卖场，虽然工作日卖场人不多，但各大空调的促销活动显得格外热闹。
海尔今年夏天主推“自清洁”空调，声称“我会洗澡”“净化空气好帮手”。海尔柜机价格约为8999元到11599元左右，挂机价格为2299到3699元不等。
美的主打“儿童牌”，主推儿童防冷风空调，主打“无风感”“智清洁烘干”，美的柜机价格为8599元到12999元不等。格力店内，“宁畅”系列产品被贴上“店长推荐”标志，格力柜机价格为7340元到14099元不等，挂机价格在3649元到4799元不等。
总体而言，格力价格稍贵，但市场主流空调品牌价格相对接近。
除了推出各种特色的主打产品，各品牌纷纷玩起“清凉营销”。美的空调余应凯告诉记者，美的推出“别燥，我的火炉城市”主题活动贯穿整个7月，包括“冰爽放假”，即到柜台赠送冰饮、冰激凌。美的还将瞄准年轻消费群体，在抖音平台发起挑战赛。“营销上，我们更倾向于偏年轻化。”余应凯表示。同样将目光瞄准抖音的还有海尔，海尔在抖音、知乎上进行了线上营销。格力也即将推出夏季“空调节”，主题也离不开“清凉”。 7月初，湖南空调销售迎来小高峰，不过三伏天才是“空调大战”高峰。湖南格力副总经理张平介绍，去年湖南格力空调在暑期最热时单日销量达8万到10万台。各大空调品牌已将目光瞄准7月15日到20日这段时间，甚至连卖场都摩拳擦掌。国美电器推出VVIP卡活动，7·20-7·31活动期间在国美购买电器最高可获得空调或冰箱的高温补贴300元。苏宁易购推出以旧换新活动，以苏宁卡与云券的形式补贴300元或600元。通程电器也在7月14日推出指定优惠机型。
营销虽热闹，价格不便宜
虽然各大品牌推出的主打概念五花八门，品牌营销也玩得丰富多彩，但暑期并不是购买空调价格优惠的时节。记者从格力、美的、海尔等多家空调的行业人士那里了解到，夏季是空调销售旺季，空调会“恢复性涨价”，各大品牌很少在这个时间“打价格战”，而是推出各种营销活动吸引消费者关注。
业内人士表示，空调品牌为了化解旺季货源压力，会在淡季推出一些促销活动，淡季买空调性价比更高，往往可以享受到10%左右的优惠。
此外，热闹的夏季大战虽然是所有空调品牌的销售旺季，但热闹之余，同样检测空调品牌内功修养。
空调产品有自身的特殊性，需要专业的安装、保养与维修。夏季销售旺季更考验品牌货源供应能力、服务人员是否专业、充足。一名业内人士透露，由于淡季不需要那么多维修人员，一些实力不足的空调品牌会选择到旺季再临时聘用，导致服务并不令人满意。
2018年夏季空调销量继续增长
空调市场在去年夏季销售火爆。今年能否重现去年的涨势呢？
暑期旺季到来前，天猫曾发布《空调品类2018年第一季度报告及2018年国内市场预测》称，2017年空调市场基数非正常的高，提前透支了市场的未来需求，政策调控导致房地产市场遇冷对2018年空调销售来说是重大利空。
不过，记者在格力、美的、海尔处了解到，今年暑假，空调销售量仍然持续增长，并没有出现销售“遇冷”，空调平均单价也呈上升趋势。事实上，空调受人力、原材料价格影响，以及消费升级，价格一直在持续增长。
此外，长沙虽颁布了新的购房政策，但“限购”政策目前还没有影响到空调销售。“装修、家电相比购房要更为迟缓，目前我们还没有受到政策影响，但不排除接下来空调市场会受购房政策影响。”张平表示。张平对目前的空调市场仍然乐观，以格力空调为例，目前格力空调在农村的销售只占全部销售量的30%，还很有潜力，另外城市虽然空调市场趋近饱和，但城市消费者也有消费升级需求，空调市场还有很大空间。
湖南人买空调有“腔调”
湖南人买空调颇有“湖南特色”。张平告诉记者，湖南人购买空调，追求高端、时尚美观、科技感强的产品，“喜欢新鲜感”。此外，湖南夏季炎热，冬天阴冷，湖南消费者也注重空调的制热效果。近几年来，变频空调已成为大多数消费者的首选，变频空调占销售量的50%以上，随着消费升级，湖南消费者也日益倾向于购买中央空调、多联机等。目前湖南消费者购买挂机价位在3000-4000元左右，柜机则在8000元左右（为主）
" class="attachment-boke_2_list_thumb size-boke_2_list_thumb wp-post-image" alt="空调大战今年有什么新玩意?看专家怎么说—万维家电网" loading="lazy" style="width:239px; height:155px;" />然而当下，电动自行车火灾仍时有发生，其中不少都与使用不合格电池、“飞线充电”、电动自行车入户等不安全行为有关。当下防范电动自行车火灾，社区治理非常重要。防范电动自行车火灾，社区治理有何难点？在实践中又有哪些好办法好点子？近日，记者展开调查。
图说：虹口区新港路一小区居民“飞线充电”。 曹博文 摄（下同）
违规充电
抓得住算你狠 抓不住算我狠
在虹口区新港路上的一座小区，记者看到，虽然每个单元门口都贴上了黄黑色的标识：“请勿飞线或在楼道内充电”“请勿将电瓶车放置室内充电”，但小区内“飞线充电”的现象屡见不鲜。在六层高的居民楼前停满了电动自行车，紧挨着一层窗户。仔细上前查看，从楼上垂下的“飞线”钻入电动自行车防雨罩，充电器闪烁的红色灯光依稀可见。记者顺着小区步道，环绕6座居民楼发现，小区“飞线充电”的居民不在少数。有居民直接将充电插排垂放在一楼室外窗台上，沾满潮湿的泥土。有人甚至从五楼的高度垂下“飞线”，黄色的电线非常显眼。有人担心垂下的插排被盗，索性将其锁入一旁的信报箱中。当天下着不小的雨，许多电线就直接暴露在雨水之中。
图说：虹口区新港路一小区居民“飞线充电”
为什么这个小区“飞线充电”如此普遍？租户张先生表示，小区公共区域面积有限，“汽车都要自己找地方停车，哪有地方设那么多充电车棚。去车棚肯定要找位置，而且挤进挤出都不方便。许多人就直接拉根线，还有把插线板固定在楼下的”。傍晚正值下班高峰，记者看到一位女士将电动自行车停到小区门外的路边，随后拎着电瓶走进小区。记者忙上前询问，女士回答：“肯定在家充电比较方便，不会出什么事情。”记者再问，是否有工作人员来劝阻违规充电行为，女士一声“不知道”，便步入楼栋。
小区内道路和公共区域确实比较狭窄。虽然在主干道上建设了附带充电口和消防设施的车棚，但空间所容车位不多。另有一处长条状非机动车库也设有充电口和消防灭火器，但空间狭窄，停满车后车库内道路仅有一人宽，大一点的电动自行车进出不太方便。还有一些自行车、僵尸车占据着充电车位。与此同时，几乎所有楼的门洞左右区域都停着电动自行车。由于紧挨着楼房外墙，不少都有“飞线”垂下充电（见右图）。在小区一角的铁栅门入口，有两个电瓶充电柜正在试运行，上面注明“试运行期间充电免费”，但或许其所在铁栅门车辆难以通过，居民如想使用要么将车停在门外马路边，提电瓶进入小区，要么就要专程绕到小区一角。
记者发现，“图方便”是多数居民违规充电的心态，为近100米、少走5分钟的“方便”，心存侥幸。此外，硬件是否满足充电需求，发现、劝导、管理措施是否严格，也影响着不同小区对这一难题的治理效果。
图说：静安区延长小区“嗅探”装置正发挥作用
社区治理
请“嗅探”出手 变空间“魔术”
疏堵结合管理居民电动自行车充电，究竟该如何“疏”如何“堵”？目前，上海已有社区作出表率。
■ 延长小区：黑科技打破侥幸心理
“飞线充电”还有迹可循，电瓶入户往往难以察觉。谈起劝阻电瓶入户充电，延长新村居委会主任陆苹对记者“大倒苦水”。她说：“之前很多时候发现问题多数要靠居民举报，然而我们去巡查，很难抓到‘现行’。曾有一位居民经常将电瓶带进家里，被居民举报，我们一周去了三四次都没抓到。还有一些‘飞线充电’的居民，往往是居委上门他拔下来，我们一走又开始充。”
除此之外，根据排摸，延长小区88个楼栋有535辆电动自行车，密度相当高。小区外来租住人员又较多，“有些老居民看在居委会的情面上还会听从一些，但是租户往往很难听从我们的劝告”。陆苹说，“居委和物业人手也难以全覆盖，靠人来监督难度很大”。
最近几年，静安区首创运用具有我国自主知识产权专利的“电动自行车充电监管及强切系统”智能感知设备即“嗅探装置”，并在延长小区试点探索智能嗅探拉网“全覆盖”模式。在延长小区，记者见到了这一“神奇的白盒子”是如何工作的。“嗅探装置”是一个带着天线的小盒子，就安装在电表箱附近的电路上。当技术人员将电动自行车锂电池充电线插入演示装置的插座时，随着指示灯一阵闪烁，仅30秒，装置便识别出电路存在锂电池充电现象。“装置运用基态电子频率采集技术，加之分析电路的功率等特征，可以在短时间内识别出电动自行车电池的充电行为。在实际使用中，1分钟左右，违规充电的信息就会推送给居委、物业相关人员手中。”设备研发机构技术人员陈晓峰向记者介绍。
步入小区居民楼，记者看到每一层都覆盖了“嗅探装置”（见右图）。其中，广泛使用的是整层版本，以楼层为单位监测并已实现全覆盖。另外，小区还在25个重点户（合租户及有违规记录的）安装了单户版“嗅探装置”。“对初次触发报警的，居委、物业会上门劝导；对两次以上高频预警用户，则会有民警上门教育，必要时进行行政处罚。”大宁路街道社区平安办公室主任刘杰对记者说。他回忆，街道在一次夜间巡查时，正巧收到违规充电警报，民警上门后，违规居民百般狡辩，但还是在其卧室发现了刚充完电还温热的电瓶。“‘嗅探装置’的威慑作用十分明显，试点不久，我收到的报警信息少了很多。”陆苹对记者说。
除了安装“嗅探装置”加强监管，延长小区目前已建设充电插口562个，数量超过排摸电瓶车数量。另外，居委会还制定了《居民防火安全公约》，发动一户一承诺签约，强化居民的安全责任意识。
图说：闵行华漕村的集中充电点位
■ 华漕村：善腾挪实现疏堵结合
相比于城市中的住宅小区，农村自建房由于建设缺少规划，建筑物间距小，一旦发生火灾，往往“火烧连营”。在电动自行车火灾防范方面，农村自建房区域遍布小巷宅院，也让日常巡查的监管难以覆盖。一旦停靠在小巷宅院的电动自行车起火，很可能堵住逃生通道。
闵行区华漕村有一个农村自建房村落，由于距离产业区不远，许多外来租户经常骑电动自行车通勤，村里的电动自行车有6000多辆。今年3月23日，华漕村曾发生一起火灾，所幸无人伤亡。以此为契机，闵行区在此开启一场农村自建房消防安全拔点攻坚整治。其中，电动自行车火灾隐患的防范是重要工作之一。如今，闵行区华漕村已积累不少成功经验，并向全区其他农村自建房区域推广“五个三”经验做法（即“三清”：清人员、清车辆、清楼道；“三拆”：拆雨棚、拆违建、拆防盗窗；“三建”：建消防力量、建停车场、建消防水源；“三增”：增配灭火器材、增配烟感报警器、增配逃生设施；“三宣”：宣传阵地、宣传警示、宣传培训）。近日，记者来到华漕村一探究竟。
在村子主要入口处，一面电子大屏正滚动播放着消防安全教育片。道路两旁陈列着一排展板，上面印刷着发生在闵行区的火灾警示案例，不时有村民停留阅览。许多村民自建房还配有水基型灭火器、单点式烟感报警器和安全逃生工具。最引人注目的要数新建的集中充电区，和分布在村落各处的充电车棚。村民赵阿姨告诉记者：“村里起过火，大家都很谨慎的。现在村子里到处都有地方充电，许多就在家门口两三步，我们也不会把车推进院子里了。”她还告诉记者，不少充电桩可以投掷硬币支付，使用起来比较便利。消防支队和村镇还组织村民到火灾现场开展现场警示教育。
记者发现，华漕村的充电车棚区域每隔20米就有一堵防火墙，车棚都设有消防喷淋装置和灭火器材。据了解，这些车棚的建设和其他治理措施都经过闵行区消防救援支队的指导。针对经营性村民自建房，消防部门还专门制定下发了《农村经营性自建房“十项负面清单”》和《农村自建出租房电动自行车停放充电场所导则》。
华漕村究竟有多少充电点位？华漕镇党委副书记、镇长李斌告诉记者：“目前，华漕村已建成多达28个集中充电点位，提供四五千辆的充电车位，这还不算一些分布在村子内部的零星充电棚，这又提供了近一千辆车的充电需求。”那么，这么多的车位空间从何而来？据了解，村里道路、公共区域的许多空间被汽车占用，华漕村通过将一片公共活动场地改建成集中停车场，同时清运堆物、拆除占道违法建筑，将建设充电停车位的场地腾挪出来。记者看到，为了防止村民将电动自行车推入村巷院落堵塞通道，许多狭窄小巷两端都设置了阻挡护栏，通过硬隔离防止电动自行车进入。
为了一旦发生火情能够第一时间控制、扑救，华漕村还加大投入，在现有基础上新建1个专职消防队，打造区域“5分钟灭火救援圈”。通过建设储水桶、取水码头，设置多个灭火取水点位，保障消防水源在华漕村全覆盖。以深入村中心的两个6吨消防蓄水桶为例，水源可持续使用15分钟，完全可以等到专业消防救援力量到达现场。
通过“疏堵结合”的策略，结合科技创新和精细化管理，上海正全力提升电动自行车火灾防范能力。用智慧让消防安全和居民便利双赢，共同守护家园的平安与和谐。
记者 曹博文
" class="attachment-boke_2_list_thumb size-boke_2_list_thumb wp-post-image" alt="这根“高危的飞线”怎么治？记者调查后发现……" loading="lazy" style="width:239px; height:155px;" />